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Cu键合相关论文
Al/Cu键合系统中金属间化合物的形成规律及防止方法
Al/Cu键合界面金属间化合物的形成是导致微电子器件失效的重要因素之一,总结了微电子器件生产和使用过程中Al/Cu键合界面金属间化合物......
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