E-H模式转换相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

E-H模式转换相关论文

工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响

采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:......

期刊

射频感应耦合等离子体工作气压 ICP放电发射光谱 Langmuir探针 E-H模式转换

电磁诊断以及射频感性耦合等离子体特性研究

射频感性耦合等离子体(Inductively coupled plasma,即射频ICP)具有放电气压低、密度高、装置简单以及空间均匀性易于控制等优点,......

学位

调谐射频磁探针反常趋肤效应射频ICP脉冲波形 E-H模式转换郎谬尔探针

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