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    介绍了在Si ̄+注入的n-GaAs沟道层下面用Be ̄+或Mg ̄+注入以形成p埋层。采用此方法做出了阈值电压0~0.2V,跨导大于100mS/mm的E型GaAsMESFET,也做出了夹断电压-0.4~-0.6V、跨导大于100mS/mm的低阈值D型GaAsMESFET。......