ECR技术相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

ECR技术相关论文

电子回旋共振反应溅射制备ZnO膜的特性

ZnO薄膜可以具有压电性和透光导电性两种不同性质，取决制备中的不同沉积条件。本文介绍采用微波电子回旋共振（ECR）等离子体反应溅射制......

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溅射制备 ZnO 电子回旋共振氧气流量 ECR技术反应溅射透光导电性压电性基片温度择优取向

略论ECR技术的应用

本文论述了ＥＣＲ技术应用的意义，提出了ＥＣＲ技术实施的三个要点和应注意的三个问题．......

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ECR技术品类管理

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