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BST组分梯度薄膜的性能研究
采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了上组分梯度、下组分梯度及单层BST薄膜,对比研究了三种结构BST薄膜的电、热性能。实验表......
期刊
BST
组分
梯度薄膜
磁控溅射
温度稳定性
介电性能
EDS线扫描
射频磁控溅射法
电子扫描显微镜
薄膜层
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