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Fe玷污相关论文

热处理单晶硅片中Fe玷污的深能级瞬态谱分析

应用深能级瞬态谱(DLTS)技术,对不同热处理条件下的单晶硅腐蚀片及抛光片进行了Fe玷污分析,系统研究了热处理前预清洗工艺和热处理......

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单晶硅热处理 Fe玷污深能级瞬态谱分析半导体材料电学性能 heat-treating proeess iron contamination DLTS

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