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本文报道了以Fe(CO)5和SnCl4为源,采用PECVD技术淀积Fe2O3-SnO2双层薄膜,将该薄膜淀积在陶瓷管上,对氨气的敏感特性进行了测量,并讨论了敏感机理.
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空气是人类赖以生存的基本要素之一。随着国民经济的快速发展,各类污染源的产生量越来越大,其中酸性有毒气体和挥发性有机化合物对......