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GZO导电薄膜相关论文
射频磁控溅射制备GZO透明导电薄膜及退火处理对其性能的影响研究
ZnO-TCO薄膜作为一种新型直带隙宽禁带(3.37e V)半导体材料,因其原料丰富、廉价、环保且性能稳定有望取代ITO和FTO应用于太阳能电......
学位
射频磁控溅射
GZO导电薄膜
退火处理
溅射工艺
半导体材料
制备方法
光电性能
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