GZO靶材相关论文
实验以ZnO-Ga2O3混合粉体为原料,其中Ga2O3掺杂量为3 wt％。采用热压烧结法制备GZO靶材,通过XRD分析物相组成,SEM观察显微结构,阿基......
采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3 wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3,wt%）。分析研究了烧结温度对靶材致密度、物相组成......
采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3wt%）.分析研究了成型压力对靶材致密度、物相组成、......
