H掺杂AZO薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

H掺杂AZO薄膜相关论文

氩气退火对氢掺杂AZO薄膜电学性能的影响

采用射频磁控溅射法,在石英玻璃衬底上制备出了性能良好的H掺杂AZO透明导电薄膜,通过XRD、Hall、UV-Vis等测试手段,研究了氩气气氛......

期刊

H掺杂AZO薄膜氩气退火热稳定性 Hall测试 HAZO films post-annealing treatment thermal stability

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