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ICP刻蚀机相关论文

国内首台大产能高端LED芯片制造用ICP刻蚀机交付使用

近日，北京电子控股公司所属北方微电子公司开发生产的ELEDETM330高密度等离子ICPN蚀机完成组装调试，正式交付客户使用。ELEDETM330是......

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LED 芯片制造 ICP刻蚀机产能设计

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