KLA-Tencor公司日前在SEMICON West2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和2930系......

《电子工业专用设备》讯：KLA-Tencor公司（纳斯达克股票代码：KLAC）日前宣布推出两款全新缺陷检测产品,在硅晶圆和芯片制造领域中针对先......

KLA-Tencor公司近日推出最新光罩检测技术，名为晶圆平面光罩检测（Wafer Plane Inspection，WPI）。这款突破性的多功能光罩检测技术，是业......