采用自行研制的ＬＢ自动提膜装置，制备出大面积（１００×８ｃｍ＾２）、高质量的ＰＭＭＡ超薄抗蚀剂膜，并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光，湿法蚀......