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MEMS并联膜开关相关论文
RF MEMS并联膜开关的研究
RF MEMS开关是最早应用的射频MEMS器件之一,与传统的FET和p-i-n二极管相比,RFMEMS开关以其极低的直流功耗,优越的微波性能,以及很......
学位
RF MEMS开关
射频MEMS器件
微波性能
硅制作工艺
MEMS并联膜开关
阈值电压
插入损耗
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