MEMS微加速度计相关论文
本文提出了一种基于开关电容技术的 MEMS微加速度计读出电路的设计方案。这种电路结构将变化的电容信号转化为电压信号，实现了差分......
随着半导体制造工艺，超精密加工技术以及MEMS技术（微机电系统）的迅猛发展，系统的小型化、微型化已经成为发展的必然。现在，微型化技术已......
MEMS微加速度计具有体积小,重量轻,分辨率高,温度特性好等优点,在汽车,惯性导航,空间微重力测量以及高精度勘探等等方面有着广泛的......
高量程MEMS微加速度计主要应用于航空、航天及军工等高可靠性要求的惯导领域。为了更好进行微加速度计的可靠性寿命预测,提出一种......
由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速......
