MEMS微结构相关论文
目前国内外MEMS可靠性研究仍处于起步阶段。本文进行了一定的探索性工作，旨在通过有限元分析软件对微结构进行建模、加载和求解来获......
利用多孔上电极叠层微结构，以真空镀膜技术形成气敏膜，采用MEMS微加工技术研制了气体传感器。依据等效电路和工艺边界条件，通过电导公......
随着航空航天技术的不断发展,对发动机上一些关键参数的测量也提出了更苛刻的要求。航空发动机是在高温下运行的,因此在高温条件下......
可运动的微结构是MEMS器件的重要单元,其运动特性与器件的性能和可靠性是密切相关的.针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,......
利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度......
针对目前引信MEMS微结构设计中缺乏高效的可靠性量化仿真方法的问题,提出了基于结构性能仿真的可靠性仿真分析及其实现方法。该方......
近几年来微机电系统(MEMS)蓬勃增长,越来越向微小化发展,以其自身的体积小、重量轻、功耗低、速度快、灵敏度高等优点受到世界各国......
MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置，建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置，以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对......
为保证常压封装的MEMS器件有期望的动态特性,需分析微结构的空气阻尼效应.采用ANSYS对运动板间空气阻尼进行了仿真分析.建立了压膜......
