MEMS测试相关论文
对于不仅能调节信号而且还能控制运动的MEMS系统,处理时需要绝对谨慎。制造厂家指出了用户必须先行大致了解哪些问题,才能成功运用......
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,简称MEMS)静态形貌和运动测试是MEMS技术的基础,并对MEMS设计、加工、质量检测具有......
MEMS 动态测试技术，因其能够测试 MEMS 三维运动，分析 MEMS 动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为 MEMS 测试技术的......
微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文......
为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的......
随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)的发展,为了进行微小结构的机械力学特性分析,或者MEMS器件的可靠性测试......
对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
很多MEMS器件必须工作在真空或特定气氛下,但是MEMS器件在封装以后性能会发生一些改变。表面形貌测试是微结构离面运动测量和变形......
