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MEMS含能芯片相关论文
基于三维多孔微-纳结构Cu(N3)2原位合成的MEMS含能芯片研究
本文研究了三维多孔微-纳米结构叠氮化铜(Cu(N3)2)原位合成机理及影响目标产物的主要因素,并初步设计、制备了基于三维多孔微-纳米......
学位
多孔铜
叠氮化铜
氢气泡模板
原位合成
电化学
MEMS含能芯片
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