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MEMS振动陀螺相关论文
高性能MEMS陀螺的研制
MEMS陀螺作为重要的惯性器件,具有低成本、体积小、功耗低、高可靠性、易于实现智能化和数字化等优点,因此在消费类电子产品、汽车、......
学位
MEMS振动陀螺
体硅微机械工艺
解耦结构
ICP刻蚀
静电驱动
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