Mg0.2Zn0.8O∶Al相关论文
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摘要:以自制Mg0.2Zn0.8O:Al陶瓷为靶材,采用室温溅射后续退火磁控溅射工艺制备了Mg0.2Zn0.8O:Al紫外透明导电薄膜。研究了溅射压强和退......