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N离子注入方法相关论文

射频磁控溅射和N离子注入方法合成CN<,x>膜及其表征

使用射频磁控溅射方法和N离子注入方法合成了CN膜,使RAMAN光谱、XPS光谱、FTIR光谱、AFM和CSR-01划痕试验机对合成CN膜进行了表征.......

学位

射频磁控溅射方法 N离子注入方法 CN膜 FTIR光谱

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