NaF-Si-MO混合物相关论文
CF4、NF3等全氟化合物（Perfluoro compounds）被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值（GWP）,如CF4的GWP为CO2的6......
CF4、NF3等全氟化合物（Perfluoro compounds）被广泛用作半导体工业的蚀刻气和清洗气,具有极高的温室效应潜值（GWP）,如CF4的GWP为CO2的6......
