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NbCN薄膜相关论文
NbC和NbN基薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学行为的研究
绿色制造与再制造是实现环境与社会可持续发展的重要途径。通过磁控溅射沉积获得低摩擦系数抗磨损涂层可以显著提升新品制造中零件......
学位
NbC薄膜
NbCN薄膜
纳米多层膜
磁控溅射
外延生长
硬度
摩擦学性质
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