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基于金刚石钝化散热的栅区微纳尺度刻蚀研究
片内热积累效应严重制约GaN器件向高功率密度应用发展,金刚石钝化散热结构的GaN器件热管控技术已成为目前研究重点,而金刚石栅区高......
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金刚石薄膜
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