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在微波激发的O_2+N_2混合等离子体中实现Al/Si的氧化
蒸发在 Si 上的 Al 薄膜,在微波激发的 O_2+H_2混合等离子体和 O_2+N_2混合等离子体中实现了氧化。添加的 H_2或 N_2在其中起催化......
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