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P型单晶硅片相关论文
P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究
采用电化学极化测量技术研究了p(100)和p(111)硅片在碱性KOH溶液中的腐蚀行为,考察了KOH溶液浓度、温度和硅片表面缝隙等因素对腐蚀行为......
期刊
P型单晶硅片
腐蚀行为
极化曲线
缝隙腐蚀
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