PICMCC混合模型相关硕士博士期刊学术论文

N2及N2-Ar空心阴极放电中产生的氮活性粒子(N+、N2+、N),可用于氮化物薄膜制备、金属表面氮化等。金属表面氮化涂层技术一般希望得......