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多孔硅-PMMA/DR1复合膜制备方法的研究(英文)

报道了用电化学腐蚀法结合激光干涉或聚合物掩膜制备多孔硅通道波导、定向耦合器、波导棱镜、光栅耦合器和激光诱导动态光栅等光子......

期刊

PMMA/DR1 多孔硅波导棱镜波导光栅光波导器件定向耦合器 waveguide 激光诱导光子器件

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