PMMA电子束抗蚀剂相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

PMMA电子束抗蚀剂相关论文

亚半微米铬掩模版制作技术研究

介绍了用Leica VB5电子束曝光系统在涂敷有PMMA电子束抗蚀剂的4英寸铬板上,通过扫描曝光、湿法显影、干法刻蚀等手段制作亚微米、......

期刊

电子束制版亚半微米混合制版 PMMA电子束抗蚀剂干法刻蚀掩模版 EB lithography sub-half-micron mix&match

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