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Parylene振动膜相关论文
基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一......
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Parylene振动膜
Electro-magnetically Actuated Micro Actuator Parylene diap
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