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磁控溅射制备(Pb1—xSrx)TiO3)系铁电薄膜的实验研究
钛酸锶铅((Pb1-xSrx)TiO3,PST)固溶体材料是一种性能优良的钙钛矿型铁电材料,其形成铁电相的温度较低,且易于和半导体工艺结合,应......
期刊
钛酸锶铅
磁控溅射
介电特性
铁电特性
铁电薄膜
制备
Pb1-xSrx)TiO3
Magnetronsputtering
Dielectric propert
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