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Pd-Y合金膜的MOCVD研制
采用金属有机化合物的化学气相淀积法 ,以 β-二酮螯合物为源物质 ,在多孔 Al2 O3 衬底上成功制备了超薄钯钇合金膜 .用 Pd( Ac Ac......
期刊
Pd-Y合金
β-二酮螯合物
化学气相淀积
金属陶瓷复合膜
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