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(Ga,In)As栏导体MOVPE生长过程中源物质的热分解及半导体碳污染的分析
运用相平衡分析的方法,对(Ga,In)As半导体MOVPE生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析,得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律......
期刊
半导体
热分解
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MOVPE
砷化镓
砷化铟
Ga
In)As alloy semiconductor
Phase equilibrium
Proly
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