PtSi合金相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

PtSi合金相关论文

硅微波BJT集电极-发射极漏电的失效机理分析

介绍了硅微波双极晶体管中一种集电极-发射极漏电的失效模式,着重从芯片制造工艺方面研究了失效机理.建立了RIE等离子体刻蚀等效电......

期刊

硅微波双极晶体管介质击穿/隧穿等离子体充电效应等离子体损伤 PtSi合金 Silicon microwave bipolar transistor Di

看过本文同时还关注