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PtSiIRCCD器件用长焦距Si微透镜阵列的制作研究(英文)
为了改善 Pt Si IRCCD器件的红外响应特性 ,需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光 ,本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长......
期刊
PtSiIRCCD器件
Si
微透镜阵列
长焦距
离子束刻蚀
组合器件
焦平面
响应特性
红外显微镜
补偿法
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