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S枪溅射相关论文
“S”枪溅射法制备钇钡铜氧高温超导薄膜
用单靶“S”枪溅射原位退火的方法,在氧化锆基体上制得厚度约0.5μm的钇钡铜氧高温超导薄膜,其临界温度T_c在85~90 K范围内,77 K时......
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