SEM低加速电压相关硕士博士期刊学术论文

针对使用扫描电镜（SEM）进行半导体器件破坏性物理分析（DPA）和失效分析（FA）时，芯片表面不作喷镀处理的问题，提出了减小或消除电荷累积的试验......