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电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)具有对一种或多种基本元素、同位素快速分析的能力,在诸多领域有其广泛应用.本文对ICP-MS接口部分中......
等离子体中离子能量的分布是离子束加工技术的关键参数之一.本文基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0对栅......
随着工业技术的发展,离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料表面改性的离子注入以及光学薄膜制备中的离子束辅助镀膜......
为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网......
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