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SIO2SI相关论文

SiO2/Si衬底上石墨烯的制备与结构表征

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会议

分子束外延 SiO2/Si 石墨烯薄膜同步辐射

MEMS用Si台面及SiO_2/Si衬底上3C-SiC的LPCVD生长(英文)

本文报道用在S i台面及热氧化S iO2衬底上3C-S iC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为S iH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X......

期刊

LPCVD MEMS Si SiC SiO_2/Si 台面 3C-SiC LPCVD生长 Si台面 SiO2/Si

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