SiGe薄膜相关论文
随着光电子技术和薄膜技术的共同发展,多晶硅锗薄膜日益受到研究者的重视,在光电集成、微电子以及薄膜太阳能电池等领域都渗透着硅......
介绍了SiGe薄膜太阳能电池的制备方法,分析了各种制备方法的优缺点,对磁控溅射制备SiGe薄膜太阳能电池的研究作了评述。......
分别在n-Si（100）和SiO2衬底上用离子束溅射法淀积SiGe薄膜，用俄歇电子谱测定薄膜Ge含量为15％～16％，对样品进行常规炉退火以考察退火温度和......
