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Si雕塑薄膜相关论文

Si薄膜在预结构基底上生长的动力学蒙特卡罗模拟

通过引入周期性排列波浪形预结构基底，建立了Si薄膜生长的三维动力学Monte Carlo模型。利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉......

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Si雕塑薄膜动力学蒙特卡罗方法波浪形预结构 Si sculptured thin filmskinetic monte-carlo methodnano-p

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