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用XPS研究^60Co对抗辐射加固和非加固Si—SiO2的影响
对由抗辐射加固与非加固工艺生成的Si/SiO2系统进行了60Co辐照前后的界面结构分析。实验结果表明,这两类Si-SiO2在硅的二氧化硅态......
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