Si1-xGex薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

Si1-xGex薄膜相关论文

溅射气压和衬底温度对Si_（1-x）Ge_x薄膜结构和光吸收性能的影响

采用射频磁控溅射法沉积了Si1-xGex薄膜,研究了溅射气压、衬底温度对薄膜结构、厚度、表面形貌、表面成分及光吸收性能的影响。结......

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Si1-xGex薄膜溅射气压衬底温度光吸收强度 Si1-xGex thin film sputtering pressure substrate temp

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