<正>引言光通信系统中数据传输率的持续提升要求能处理接近 ２００ＧＨｚＦｔ/Ｆｍａｘ的更高效能工艺技术,虽然似乎可以通过将目前ＳｉＧｅ工艺技术的垂直成形处理......