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TMAH减薄相关论文
超薄硅结构PIN粒子探测器的加工工艺研究和特性分析
随着航天事业的发展,半导体PIN粒子探测器以其体积小、性能好、可靠性高、可集成的优点,越来越为业界重视。其中,超薄结构的PIN探测器......
学位
超薄硅结构
PIN粒子探测器
TMAH减薄
高能量分辨率
低漏电流
加工工艺
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