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TSV结构相关论文
多应力耦合下TSV结构的可靠性仿真和寿命预计
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TSV结构
穿透硅通孔互连结构的湿-热应力有限元分析
对穿透硅通孔(TSV)互连结构的湿-热应力问题进行了有限元分析。首先模拟了在二氧化硅和氢基半硅氧烷(HSQ)低k材料TSV互连结构在回......
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