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Ta-Si-N薄膜相关论文
N含量对Ta-Si-N扩散阻挡层阻挡性能的影响
采用磁控反应溅射技术在p型Si(111)衬底上制备了Ta-Si-N薄膜与Cu/Ta-Si-N复合结构,并对样品进行了快速热处理.用四探针电阻测试仪......
期刊
反应磁控溅射
Ta-Si-N薄膜
扩散阻挡层
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