Ta—Al-N纳米薄膜相关硕士博士期刊学术论文

Ta—Al-N纳米薄膜相关论文

采用直流反应磁控溅射方法在P型（100）Si衬底上制备了Ta-Al—N纳米薄膜与Cu／Ta-Al—N复合膜，并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火（RTP）。......

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