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Ti/Al_2O_3界面反应的俄歇电子能谱研究
用俄歇电子能谱详细研究了Ti/Al2O3的界面反应。通过观察Ti的L23M23M45,L23M23M23及Al的LVV俄歇发射强度、峰形及位置随深度变化,研究......
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