TiAlN-Cu多层膜相关硕士博士期刊学术论文

在传统的硬质薄膜中Ti Al N由于具有高硬度、高温抗氧化性(800℃)和高温热稳定性(达1470℃)已取代了Ti N薄膜,并广泛应用于机械领......